자외선 발광 다이오드(UV LED) 기술은 경화 분야에서 처음 적용된 이후 반도체, 정밀 광학 조립, 하이엔드 제조 분야에서 없어서는 안 될 "리소그래피 도구" 및 "접착 전문가"로 빠르게 발전했습니다. UV LED는 전력 밀도, 파장 안정성, 긴 수명에서 혁신적인 돌파구를 통해 산업 공정을 더욱 높은 정밀도와 효율성으로 가속화하고 있습니다.
반도체 제조의 핵심 공정인 포토 리소그래피에서 UV LED는 특히 딥 UV(Deep UV) 대역에서 큰 잠재력을 보여주고 있습니다.
기존의 포토 리소그래피는 부피가 크고 비싼 수은 램프와 물리적 마스크에 의존합니다. 최신 딥 UV 마이크로 LED 디스플레이 어레이 웨이퍼 기술은 고효율, 고해상도 딥 UV 광원을 제공하여 저비용, 고정밀 "마스크리스 리소그래피"의 길을 열었습니다. 이는 패턴 노출의 유연성을 크게 높이고 제조 비용을 크게 절감할 것으로 예상됩니다.
첨단 패키징 및 웨이퍼 엣지 노출과 같은 정밀 제조 단계에서 UV LED 집중 광원은 제어 가능하고 좁은 대역폭 스펙트럼과 안정적인 출력을 통해 기존의 광대역 광원을 대체했습니다. 이는 칩 수율 향상의 핵심인 균일하고 정밀한 포토레지스트 노출을 보장합니다.
UV LED 광원은 스마트폰 카메라, LiDAR 센서, 자동차 헤드라이트와 같은 정밀 광학 부품의 능동 정렬 및 접착에 상당한 이점을 제공합니다:
능동 정렬은 광학 부품이 최적으로 배치된 후 UV 경화성 접착제를 사용하여 빠르고 안정적으로 고정해야 합니다. UV LED 광원은 높은 복사 전력을 제공하여 빠른 경화를 가능하게 하고 생산 주기 시간을 효과적으로 단축합니다. 낮은 열 출력(냉경화)은 경화 과정에서 정렬된 부품의 열 변위를 방지하여 최종 제품의 신뢰성을 크게 향상시킵니다.
Phoseon과 같은 업계 선두 주자들은 산업 등급 UV LED 램프가 60,000시간 이상 매우 안정적인 광 출력을 유지하며 작동할 수 있음을 입증했습니다. 이러한 장기적인 신뢰성은 운영되는 하이엔드 제조 라인에 매우 중요합니다.
UV LED 기술은 더 이상 일률적인 표준화된 제품이 아닙니다. 미래의 트렌드는 다양한 기판(플라스틱, 유리, 복합재 등) 및 생산 속도에 맞게 맞춤화된 고도로 맞춤화된 UV LED 경화 시스템을 제공하는 것입니다.
첨단 열 관리, 정밀한 열 분산 및 통합된 지능형 제어 시스템을 통해 UV LED 기술은 "Industry 4.0" 모델에 따라 자동화된 친환경 공장에 핵심 광원 지원을 제공하고 있습니다.
담당자: Mr. Eric Hu
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